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激光混合气体
一切以气体或节气作为激光工作物质的激光器,统称为气体激光器.这是目前种类最多、发展最快、应用最广的一类激光器。通常可以把气体激光器划分为原子气体激光器、离子气体激光器、分子激光器和准分子激光器。气体激光器的激励方式很多,通常采用气体放电激励,此外还可采用电子束激励、气动式激励、化学激励、光激励和核动激励等。气体激光器与液体激光器、固体激光器和半导体激光器一样,已经实现了实用化。
它已广泛用于工农业生产、科学研究、国离建设和医疗卫生等领域。气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响光的性能,特别是气体中氧、水碳氢化合物等杂质的存在,将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将氦-氖激光作为第一代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪激光,可称为第三代激光。
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